半导体制造加工设备自动灭火解决方案

现代化工业的不断发展对精密加工设备的要求越来越高，工业机床设备已成为工业生产制造不可缺少的一部分。

机床火灾具有燃烧迅速、火势蔓延速度快的特点，同时还会有爆炸的风险，机床一旦发生火灾，如果没能进行有效的灭火措施，机床可能在几秒钟之内被火势吞噬，造成机床损毁。严重时，火势会迅速蔓延到相邻的设备或整个车间，尤其是当机床处于全自动化作业状态时，甚至会导致整个机加工车间或工厂发生火灾，使机床乃至大量的生产设备毁于一旦，严重者会造成人员伤亡。

  机床发生火灾的原因：

1、机床大量使用油基冷却液为介质，大大的提高了火灾风险的威胁。机床在加工时瞬间温度在10000~12000℃左右，若加工时工件没有完全浸泡在机油内加工，又进行连续加工，放电蒸发出来的油蒸汽，混合周围的空气，遇到火花便会燃烧。

2、机床内机油没有流动循环，加工槽内油的温度也会逐渐升高，待温度升高至油的燃点时，即会产生燃烧。

3、工作液提供不足或没有及时进油。工作液提供不足，导致机油没有流动循环，机床刀具与工件之间没有润滑油的作用，摩擦生热导致温度升高，一旦达到一定的温度，燃点就很容易引燃油基冷却液从而发生火灾，在封闭的车间内，火灾会迅速的进行蔓延，从而造成较大的损失，并且在流水线上工作的人员也不好撤离。

4、机床保养不够，油污多，在任何加工操作中，凡是存在着冷却油和润滑油蒸汽的地方，即使是一点火星也会引起爆燃。

由此可见，机床火灾发生的初期预判、火灾初期的及时灭火是机床厂家需要重点考虑的问题。

机床灭火解决方案将火焰探测器安装在火源最可能发生处的上方进行探测。当出现异常时提前预警避免火灾发生，火灾突发时快速有效的扑灭火患，灭火介质通过释放管直接喷射到被保护区域。

报警灭火合一，探测反应时间快，迅速将火患扑灭在萌芽状态，有效降低火灾带来的经济损失。

系统图：